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　　輝光光譜儀是一種用于材料科學領域的分析儀器，主要用于濃度分析和表面分析。它既可以滿足各個復雜基質樣品的元素總量分析，還可進行表面各元素深度變化的定量薄層分析，甚至還可完成其他發射光主譜儀從未涉及的樣品類型的分析。

 

　　基本工作原理：

　　輝光光譜儀屬于發射光譜分析儀器，和其它發射光譜儀大筆，它的基本工作原理大致相同，就是對一種光源加以利用使被測樣品元素處于受激狀態，樣品元素外層電子由高能態向著低能態返回時，特征光譜被發射出。通過素發射出的特征光譜將樣品中含有的元素分析出來。

　　輝光放電燈作為輝光放電儀的光源，有二個電極在一個RF輝光放電光源內，直徑為4mm管狀銅電極為其中一個，是陽極，陽極接地。而樣品作為陰極，使得一個RF電位維持著，此為通過高頻(RF)電源感應產生的電位。將低壓氬氣充入輝光放電燈內，有少量氬離子在燈內自發產生，在RF電位作用下，從陽極-陰極間隙穿過，使得高速震蕩產生，被加速了的氬離子和氬原子發生碰撞，使得更多的氬離子和電子產生，使得等離子體形成，也就是所謂的輝光放電，等離子體中的高速氬離子到達樣品(陰極)表面，使樣品表面的物質被均勻地濺射出來，往輝光放電等離子體中擴散擴散，在其中解離-原子化，從而被激發，使得樣品組份的特征光譜發射出來。

　　利用光學系統聚焦、分光來自樣品的光，到達高動態范圍檢測器HDD，高動態范圍檢測器HDD接收了光信號，光信號被轉換成電信號，利用電子控制系統送到計算機加以處理。計算機安裝專用軟件，比較軟件中預置的標準曲線與各種元素的光強信號，從而將各元素的濃度測算出來，在進行表面逐層檢測時，元素濃度與深度間的關系還能夠同時被給出。

 

　　輝光光譜儀的特點：

　　1、狹窄的譜線寬度：在輝光放電光源內的等離子體中，氬氣具有較低的溫度，并且光源內保持一定的低壓，使得洛侖茲效應與多普勒效應減小了。使得和其他光譜儀相比，其擁有更加狹窄的譜線寬度，也就擁有更少的狹窄譜線間疊加干擾現象。

　　2、較小的自吸收效應：在輝光放電光譜中，樣品激發時的等離子體厚度由于光源的設計變薄，也就產生較小的自吸收效，所以可以獲得的校準曲線的線性范圍較寬。

　　3、較小的基體效應：在輝光放電光源中，樣品表面原子首先被濺射出來進而被激發的。對于組成和結構均有所差異的樣品，盡管濺射率不一樣，然而對元素的激發過程所產生的效應不是太明顯。所以能夠通過對各標準樣品或純物質的濺射率進行計算，校正 測得的強度，能夠在同一條校準曲線上制作組成和結構有所差異的樣品中的同一元素。定量深度剖面分析的理論依據也是如此。