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　　電子探針是一種利用電子束作用樣品后產生的特征X射線進行微區成分分析的儀器，可以用來分析薄片中礦物微區的化學組成。除H、He、Li、Be等幾個較輕元素外，還有U元素以后的元素以外都可進行定性和定量分析。電子探針的大批量是利用經過加速和聚焦的極窄的電子束為探針，激發試樣中某一微小區域，使其發出特征X射線，測定該X射線的波長和強度，即可對該微區的元素作定性或定量分析。

 

　　電子探針的簡單原理：

　　1、電子光學系統：電子束直徑0.1～1μm，電子束穿透深度1～3μm。

被激發原子發射特征X射線譜過程如下：圍繞原子核運動的內層電子，被電子束的電子轟擊后，其他外層電子為補充轟擊出的電子而發生躍遷，在躍遷過程中釋放出能量，即發射出X射線。

　　2、X射線譜儀：測量各種元素產生的X射線波長和強度，并以此對微小體積中所含元素進行定性和定量分析。

　　3、X射線強度測量系統：特征X射線，由B系統中的計數管接收，并轉換成電脈沖，通過脈沖高度分析儀、計數率計、定標器、電子電位計將其強度測量出來。

　　4、光學顯微鏡目測系統：用以準確選擇需要分析的區域，并作光學觀察。

　　5、背散射電子圖像系統。

　　6、吸收電子圖像系統。

　　7、特征X射線圖像系統：電子探針的技術核心是利用X射線晶體光學，主要應用兩種方法：

　　a、晶體衍射法：利用晶體轉到一定角度，來衍射某種波長的X射線，通過讀出晶體不同的衍射角，求出X射線的波長，從而定出樣品所含的元素；

　　b、X射線能譜分析法：無須分析晶體，而直接將探測器接收的訊號加以放大，進行脈沖幅度分析，通過選擇不同的脈沖幅度來確定入射x射線的能量，從而區分不同的特征X射線。計算時應用布拉格方程：nλ=2dsinθ。